技术专利

一种束源炉坩埚

一种掩膜版切换机构以及真空镀膜设备

一种超高真空磁控溅射靶以及磁控溅射装置

一种磁控溅射靶组件

一种镀膜设备样品台组件

一种矩形平面溅射靶

一种立式双室热丝CVD系统

一种热丝CVD设备

一种线槽组件以及电控模组

一种旋转样品台及分子束外延设备

一种用于热丝薄膜沉积的热丝固定组件

真空镀膜设备机柜

PVD薄膜沉积系统软件

单室高真空PECVD薄膜制备设备电源系统软件

电子束蒸镀薄膜沉积系统软件

多功能磁控溅射双进气系统

多功能磁控溅系统三靶材1路混气阀系统软件

多功能磁控溅系统三靶材3路混气阀系统软件

高真空溅射系统软件

微米晶纳米晶金刚石薄膜CVD沉积系统软件