技术专利
一种束源炉坩埚
一种掩膜版切换机构以及真空镀膜设备
一种超高真空磁控溅射靶以及磁控溅射装置
一种磁控溅射靶组件
一种镀膜设备样品台组件
一种矩形平面溅射靶
一种立式双室热丝CVD系统
一种热丝CVD设备
一种线槽组件以及电控模组
一种旋转样品台及分子束外延设备
一种用于热丝薄膜沉积的热丝固定组件
真空镀膜设备机柜
PVD薄膜沉积系统软件
单室高真空PECVD薄膜制备设备电源系统软件
电子束蒸镀薄膜沉积系统软件
多功能磁控溅射双进气系统
多功能磁控溅系统三靶材1路混气阀系统软件
多功能磁控溅系统三靶材3路混气阀系统软件
高真空溅射系统软件
微米晶纳米晶金刚石薄膜CVD沉积系统软件